Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
Detail publikace
LAZAR, J. HOLÁ, M. HRABINA, J. OULEHLA, J. ČÍP, O.
Originální název
Pokročilé interferometrické systémy pro měření polohy v nanometrologii
Typ
článek v časopise - ostatní, Jost
Jazyk
čeština
Originální abstrakt
Preneztujeme zde výsledky společného projektu aplikovaného výzkumu, v němž spolupracují Ústav přístrojové techniky, Akademie věd České republik, v. v. i. a firma Meopta - optika, s.r.o. na společném vývoji vysoce přesných interferometrických systémů prodimenzioální metrologii a nanometrologii. Výzkum využívá přechozích výsledků na poli laserových normálů otpických frekvencí a metodologie interferometrických měření v metrologii délky, detekce a zpracování interferometrických signálů na ÚPT spolu s technologií zpracování otpického skla a výrobou vysoce přesných optických komponentů ve firmě Meopta - optika. Hlavním cílem projetku je návhr komplexního interferometrického měřicího systému ve formě prototypu, který bude sloužit jako váchdisko pro budoucí výrobu. Zvolená koncepce systému představuje modulární rodinu komponentů konfigurovatelnou pro různá uspořádání, zvláště pro víceosá měření v nanotechnologíích a měřeních topografie povrchů. V rámci tohoto projektu jsme vyvinuli kompaktní
Klíčová slova
interferometrické systémy; měření délek; nanometrologie
Autoři
LAZAR, J.; HOLÁ, M.; HRABINA, J.; OULEHLA, J.; ČÍP, O.
Vydáno
15. 9. 2015
ISSN
0447-6441
Periodikum
Jemná mechanika a optika
Ročník
60
Číslo
1
Stát
Česká republika
Strany od
14
Strany do
17
Strany počet
4
BibTex
@article{BUT138311, author="Josef {Lazar} and Miroslava {Holá} and Jan {Hrabina} and Jindřich {Oulehla} and Ondřej {Číp}", title="Pokročilé interferometrické systémy pro měření polohy v nanometrologii", journal="Jemná mechanika a optika", year="2015", volume="60", number="1", pages="14--17", issn="0447-6441" }