Detail produktu

Funkční prototyp elektronového litografu o energii 80 keV

BABOCKÝ, J. DVOŘÁKOVÁ, H. FIALA, J. HRABOVSKÝ, M. LÁZNIČKA, J. LOPOUR, F. MAŇÁSEK, J. MARŠÍK, J. ČÍŽEK, M. HOLÁ, M. LAZAR, J. ŘEŘUCHA, Š. ŠIKOLA, T.

Typ produktu

prototyp

Abstrakt

Funkční prototyp elektronového litografu o energii 80 keV obsahuje: Komora GL na platformě s aktivním odpružením, přesný stolek s vedeními MAHR X,Y,Z (153x153x10 mm) se zerodurovými zrcadly, 2 x interferometrická sada diferenciálních hlavic v přírubách se zdrojem laseru ORION (1530 nm), zakládací systém pro 6" wafery, laserové odměřování v ose Z na bázi micro-epsilon, dvoukondenzorový elektronový tubus se 100 keV tryskou, plovoucí elektronika na 100 keV, HV tank 100 keV na samostatné platformě, chiller, scroll vývěva EDWARDS, a kompresor. Součásti prototypu je také nově vyvinutý speciální software s názvem Stamper pro ovládání HW a správu předloh pro provádění expozic. První testy ověřili funkčnost zařízení a výstupy například mikroskopické obrázky, první testovací litografické struktury aj. byly zpracované ve formě vývojové zprávy.

Klíčová slova

rastrovací elektronový mikroskop; elektronová litografie; nanovýroba; nanotechnologie

Datum vzniku

31. 12. 2018

Umístění

TESCAN Brno s.r.o.

Možnosti využití

Výsledek je využíván vlastníkem

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek