Detail produktu

Metody kvantitativní analýzy dopantů a vysokonapěťová diagnostika čipů

BÁBOR, P. POTOČEK, M. KOLÍBAL, M. ŠIK, O.

Typ produktu

ostatní

Abstrakt

Metody měření polovodičových materiálů vyvinuté především na bázi hmotnostní spektroskopie sekundárních iontů a vysokonapěťová diagnostika čipů. Tyto metody budou komerčně využívány při následné výrobě v ON SEMICONDUCTOR formou smluvního výzkumu – nabídky expertních služeb, viz článek 5 odst. 5 Smlouvy o využití výsledků. Předpokládá se komerční využití i jinými společnostmi polovodičového průmyslu. Vlastníkem výsledku je VUT.

Klíčová slova

Semiconductor, analysis, SIMS, hmotnostní spektrometrie sekundárních iontů

Datum vzniku

31. 12. 2020

Umístění

Purkyňova 123, Brno 61200, budova C, laboratore cistych prostor

Možnosti využití

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

www

http://nano.ceitec.cz/