Detail produktu
Antireflexní vrstva na substrátu ve specifikaci T>=99,8 %@ 248 nm a T>=98,5 % @ 213 nm
PEKAŘ, V. BŘEZINA, J. ŠKODA, D. OHLÍDAL, I. VOHÁNKA, J. FRANTA, D. FRANTA, P. OHLÍDAL, M. ŠULC, V. KLAPETEK, P. HAVLÍČEK, M.
Typ produktu
funkční vzorek
Abstrakt
Antireflexní vrstvy vyrobené kombinací vysokoindexového materiálu Al2O3 a nízkoindexového materiálu SiO2 splňující následující specifikace v hluboké ultrafialové oblasti, vrstva 1: T>=99,8 % @248 nm, vrstva 2: T>=98,5 % @213 nm
Klíčová slova
DUV pokrytí; Vysoká propustnost; Al2O3, SiO2
Datum vzniku
31. 12. 2020
Umístění
Meopta – optika, s.r.o. Kabelíkova 2682/1 750 02 Přerov
Možnosti využití
Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Licenční poplatek
Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek