Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
Detail publikace
ČECH, V. STUDÝNKA, J. JONES, F.
Originální název
Nanoindentation measurements of plasma polymer films
Typ
článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus
Jazyk
angličtina
Originální abstrakt
Mechanical properties of thin films deposited from a mixture of tetravinylsilane vapor and oxygen gas by plasma-enhanced chemical vapor deposition were investigated using nanoindentaion. The Young's modulus and hardness of the film increased with enhanced RF power while a significant rise of oxygen concentration in the film resulted in descent of mechanical constants.
Klíčová slova
nanoindentation, plasma polymerization, thin film
Autoři
ČECH, V.; STUDÝNKA, J.; JONES, F.
Rok RIV
2007
Vydáno
13. 12. 2007
ISBN
978-4-9903773-2-8
Kniha
18th International Symposium on Plasma Chemistry
Strany od
1
Strany do
4
Strany počet
BibTex
@inproceedings{BUT28335, author="Vladimír {Čech} and Jan {Studýnka} and Frank {Jones}", title="Nanoindentation measurements of plasma polymer films", booktitle="18th International Symposium on Plasma Chemistry", year="2007", pages="1--4", isbn="978-4-9903773-2-8" }