Detail publikace

Skenovací optická mikroskopie v blízkém poli jako nástroj lokální charakterizace elektronických součástek

MÜLLER, P.

Originální název

Skenovací optická mikroskopie v blízkém poli jako nástroj lokální charakterizace elektronických součástek

Anglický název

Near-field scanning optical microscopy as a tool of local characterization of electronic devices

Typ

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

Jazyk

čeština

Originální abstrakt

The development of micro and nanoelectronics and nanophotonics needs novel characteri-zation techniques to ensure higher quality of designed devices. The paper describes a use of Scanning Near-field Optical Microscopy (SNOM) in dimensional control and in local investigation of diverse physical parameters. As example of its potential, the correlation between object topography and reflection measurement of tantalum condenser is shown.

Anglický abstrakt

The development of micro and nanoelectronics and nanophotonics needs novel characteri-zation techniques to ensure higher quality of designed devices. The paper describes a use of Scanning Near-field Optical Microscopy (SNOM) in dimensional control and in local investigation of diverse physical parameters. As example of its potential, the correlation between object topography and reflection measurement of tantalum condenser is shown.

Klíčová slova

Skenovací optická mikroskopie v blízkém poli, lokální charakterizace, elektronická součástka

Klíčová slova v angličtině

Near-field scanning optical microscopy, local characterization, electronic device

Autoři

MÜLLER, P.

Rok RIV

2010

Vydáno

29. 4. 2010

Nakladatel

Novpress, s.r.o.

Místo

Brno

ISBN

978-80-214-4077-7

Kniha

Proceedings of the 16th conference STUDENT EEICT 2010, vol. 2

Strany od

195

Strany do

197

Strany počet

3

BibTex

@inproceedings{BUT29820,
  author="Pavel {Müller}",
  title="Skenovací optická mikroskopie v blízkém poli jako nástroj lokální charakterizace elektronických součástek",
  booktitle="Proceedings of the 16th conference STUDENT EEICT 2010, vol. 2",
  year="2010",
  pages="195--197",
  publisher="Novpress, s.r.o.",
  address="Brno",
  isbn="978-80-214-4077-7"
}