Detail publikace

Experimental study of MEMS capacitive sensor

PEKÁREK, J. VRBA, R. FICEK, R. MAGÁT, M.

Originální název

Experimental study of MEMS capacitive sensor

Typ

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

Jazyk

angličtina

Originální abstrakt

This paper describes a new approach to pressure sensors development using capacitive principle. Novel pressure sensor has been achieved utilizing carbon nanotubes (CNTs) arrays as the surface increase element in capacitive sensor.

Klíčová slova

Pressure sensor, capacity, carbon nanotubes, plasma enhanced chemical vapor deposition

Autoři

PEKÁREK, J.; VRBA, R.; FICEK, R.; MAGÁT, M.

Rok RIV

2009

Vydáno

2. 9. 2009

Nakladatel

Vysoké učení technické v Brně, Antonínská 548/1

Místo

Brno

ISBN

978-80-214-3933-7

Kniha

EDS'09 IMAPS CS International Conference Proceedings

Číslo edice

1

Strany od

205

Strany do

209

Strany počet

5

BibTex

@inproceedings{BUT31908,
  author="Jan {Pekárek} and Radimír {Vrba} and Richard {Ficek} and Martin {Magát}",
  title="Experimental study of MEMS capacitive sensor",
  booktitle="EDS'09 IMAPS CS International Conference Proceedings",
  year="2009",
  number="1",
  pages="205--209",
  publisher="Vysoké učení technické v Brně, Antonínská 548/1",
  address="Brno",
  isbn="978-80-214-3933-7"
}