Detail publikace

In situ analysis of PMPSi thin films by spectroscopic ellipsometry

BRANDEJSOVÁ, E. ČECHAL, J. BONAVENTUROVÁ, O. NEBOJSA, A. TICHOPÁDEK, P. URBÁNEK, M. NAVRÁTIL, K. ŠIKOLA, T. HUMLÍČEK, J.

Originální název

In situ analysis of PMPSi thin films by spectroscopic ellipsometry

Typ

článek v časopise - ostatní, Jost

Jazyk

angličtina

Originální abstrakt

Paper deals with an in situ analysis of PMPSi thin films by spectroscopic ellipsometry

Klíčová slova v angličtině

Ellipsometry, PMPSi, optical degradation

Autoři

BRANDEJSOVÁ, E.; ČECHAL, J.; BONAVENTUROVÁ, O.; NEBOJSA, A.; TICHOPÁDEK, P.; URBÁNEK, M.; NAVRÁTIL, K.; ŠIKOLA, T.; HUMLÍČEK, J.

Rok RIV

2004

Vydáno

1. 1. 2004

ISSN

0447-6441

Periodikum

Jemná mechanika a optika

Ročník

9

Číslo

9

Stát

Česká republika

Strany od

260

Strany do

262

Strany počet

3

BibTex

@article{BUT42364,
  author="Eva {Kolíbalová} and Jan {Čechal} and Olga {Bonaventurová} and Alois {Nebojsa} and Petr {Tichopádek} and Michal {Urbánek} and Karel {Navrátil} and Tomáš {Šikola} and Josef {Humlíček}",
  title="In situ analysis of PMPSi thin films by spectroscopic ellipsometry",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  year="2004",
  volume="9",
  number="9",
  pages="3",
  issn="0447-6441"
}