Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
Detail publikace
BRANDEJSOVÁ, E. ČECHAL, J. BONAVENTUROVÁ, O. NEBOJSA, A. TICHOPÁDEK, P. URBÁNEK, M. NAVRÁTIL, K. ŠIKOLA, T. HUMLÍČEK, J.
Originální název
In situ analysis of PMPSi thin films by spectroscopic ellipsometry
Typ
článek v časopise - ostatní, Jost
Jazyk
angličtina
Originální abstrakt
Paper deals with an in situ analysis of PMPSi thin films by spectroscopic ellipsometry
Klíčová slova v angličtině
Ellipsometry, PMPSi, optical degradation
Autoři
BRANDEJSOVÁ, E.; ČECHAL, J.; BONAVENTUROVÁ, O.; NEBOJSA, A.; TICHOPÁDEK, P.; URBÁNEK, M.; NAVRÁTIL, K.; ŠIKOLA, T.; HUMLÍČEK, J.
Rok RIV
2004
Vydáno
1. 1. 2004
ISSN
0447-6441
Periodikum
Jemná mechanika a optika
Ročník
9
Číslo
Stát
Česká republika
Strany od
260
Strany do
262
Strany počet
3
BibTex
@article{BUT42364, author="Eva {Kolíbalová} and Jan {Čechal} and Olga {Bonaventurová} and Alois {Nebojsa} and Petr {Tichopádek} and Michal {Urbánek} and Karel {Navrátil} and Tomáš {Šikola} and Josef {Humlíček}", title="In situ analysis of PMPSi thin films by spectroscopic ellipsometry", journal="Jemná mechanika a optika", year="2004", volume="9", number="9", pages="3", issn="0447-6441" }