Detail publikace

Plazma za sníženého tlaku, vlastnosti a aplikace

KRČMA, F.

Originální název

Plazma za sníženého tlaku, vlastnosti a aplikace

Anglický název

Low pressure plasma, properties and applications

Typ

článek v časopise - ostatní, Jost

Jazyk

čeština

Originální abstrakt

Příspěvek podává obecný přehled o široké problematice plazmatu používaného v různých technologických aplikacích. hlavní důraz je kladen na chemické procesy probíhající při depozičních procesech.

Anglický abstrakt

The contribution gives a general overwiev on the wide problematic of low pressure plasmas used for various technological applications. The main stress is given on the chemical processes involved in the deposition processes.

Klíčová slova v angličtině

Plasma physics, plasma chemistry, plasma processes

Autoři

KRČMA, F.

Rok RIV

2006

Vydáno

29. 5. 2006

Nakladatel

ČVS

Místo

Praha

ISSN

1213-2705

Periodikum

Zpravodaj České Vakuové Společnosti

Ročník

14

Číslo

1-2

Stát

Česká republika

Strany od

2

Strany do

6

Strany počet

5

BibTex

@article{BUT43347,
  author="František {Krčma}",
  title="Plazma za sníženého tlaku, vlastnosti a aplikace",
  journal="Zpravodaj České Vakuové Společnosti",
  year="2006",
  volume="14",
  number="1-2",
  pages="2--6",
  issn="1213-2705"
}