Detail publikace

Měření povrchů holografickým konfokálním mikroskopem

CHMELÍK, R., HARNA, Z., LOVICAR, L., ANTOŠOVÁ, I.

Originální název

Měření povrchů holografickým konfokálním mikroskopem

Anglický název

Surface Measurement by a Holographic Confocal Microscope

Typ

článek v časopise - ostatní, Jost

Jazyk

čeština

Originální abstrakt

Holografický konfokální mikroskop zobrazuje na principu nekoherentní holografie v reálném čase, takže kromě obrazové amplitudy je přirozeně rekonstruována také obrazová fáze. V tomto článku ukazujeme teoreticky i experimentálně, že při pozorování povrchů lze jejich fázová zob-razení převádět na výškové mapy a to s přesností několika nanometrů. Nejednoznačnost fázového skoku, která vzniká v oblastech velkých výškových skoků, je odstraněna méně přesným, ale zato jednoznačným měřením dané oblasti pomocí intenzitního zobrazení v holografickém kon-fokálním mikroskopu, které je hloubkově diskriminováno. Potřebné osové rozlišovací schopnosti je přitom dosaženo použitím spektrálně širokopásmového osvětlení.

Anglický abstrakt

Imaging by a holographic confocal microscope is based on the principle of a real-time incoherent holography. For this reason, the image phase is inherently reconstructed in addition to the image intensity. In this paper, we prove both theoretically and experimentally that the phase images of surfaces can be converted into their height maps with precision of several nanometers. Ambiguity of the phase jump, which appears in the regions of great jumps of height, was removed by a less precise, but non-ambiguous measurement of the region by an intensity image component, which is depth-discriminated in the holographic confocal microscope. The necessary axial resolution was achieved by the use of a spectrally broadband illumination.

Klíčová slova v angličtině

low-coherence interference microscopy, holographic microscopy, confocal microscopy, optical sectioning

Autoři

CHMELÍK, R., HARNA, Z., LOVICAR, L., ANTOŠOVÁ, I.

Rok RIV

2004

Vydáno

1. 1. 2003

ISSN

0447-6441

Periodikum

Jemná mechanika a optika

Ročník

48

Číslo

6

Stát

Česká republika

Strany od

174

Strany do

177

Strany počet

4

BibTex

@article{BUT45433,
  author="Radim {Chmelík} and Zdeněk {Harna} and Luděk {Lovicar} and Irena {Antošová}",
  title="Měření povrchů holografickým konfokálním mikroskopem",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  year="2003",
  volume="48",
  number="6",
  pages="4",
  issn="0447-6441"
}