Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
Detail publikace
STUDÝNKA, J. ČECHALOVÁ, B. ČECH, V.
Originální název
FUNCTIONAL MULTILAYER COATINGS OF TETRAVINYLSILANE
Typ
článek v časopise - ostatní, Jost
Jazyk
angličtina
Originální abstrakt
Functional coatings constructed as bi-layer or multilayer (10-layer) structures were deposited from pure tetravinylsilane monomer or a mixture of monomer and oxygen gas using plasma-enhanced chemical vapor deposition. Selected deposition conditions were used to deposit the plasma polymer layer of A and B type, which differ in chemical and physical properties markedly. The thickness of the particular layer in layered structure was 0.1 - 0.9 micron at a total coating thickness of 1 micron. Spectroscopic ellipsometry enabled us to differentiate the particular layers in structured coatings and analyze them.
Klíčová slova
multilayer, PECVD, tetravinylsilane, ellipsometry, FTIR
Autoři
STUDÝNKA, J.; ČECHALOVÁ, B.; ČECH, V.
Rok RIV
2008
Vydáno
22. 12. 2008
ISSN
0257-8972
Periodikum
Surface and Coatings Technology
Ročník
202
Číslo
22
Stát
Švýcarská konfederace
Strany od
5505
Strany do
5507
Strany počet
3
BibTex
@article{BUT48291, author="Jan {Studýnka} and Božena {Čechalová} and Vladimír {Čech}", title="FUNCTIONAL MULTILAYER COATINGS OF TETRAVINYLSILANE", journal="Surface and Coatings Technology", year="2008", volume="202", number="22", pages="5505--5507", issn="0257-8972" }