Detail publikace

Mechanika iontů jako prostředek k analýze nanosvěta

BÁBOR, P. DUDA, R. PRŮŠA, S. MATLOCHA, T. KOLÍBAL, M. KALOUSEK, R. NEUMAN, J. URBÁNEK, M. ŠIKOLA, T.

Originální název

Mechanika iontů jako prostředek k analýze nanosvěta

Anglický název

Ion mechanics as a tool for nano-world analysis

Typ

článek v časopise - ostatní, Jost

Jazyk

čeština

Originální abstrakt

V tomto článku je diskutována problematika interakce iontů s pevnou látkou. Podrobněji je diskutována možnost využití mechanických vlastností iontů k analýze 2D nanostruktur (vrstev s tloušťkou v jednotkách nanometrů) pomocí metod SIMS a TOF-LEIS

Anglický abstrakt

In the contribution the result on the combination of ion sputtering and scattering processes for achieving enhanced complementary information on the analyzed multilayer are reported. Physical background of ion-solid interactions is discussed. Specifically, the combination of SIMS and TOF-LEIS techniques will be introduced.

Klíčová slova

SIMS, TOF-LEIS, HRTEM, hloubkové profilování, interakce iontů, rozptyl iontů, MoSi

Klíčová slova v angličtině

SIMS, TOF-LEIS, HRTEM, depth profilling, interactions of ions, ion scaterring, MoSi

Autoři

BÁBOR, P.; DUDA, R.; PRŮŠA, S.; MATLOCHA, T.; KOLÍBAL, M.; KALOUSEK, R.; NEUMAN, J.; URBÁNEK, M.; ŠIKOLA, T.

Rok RIV

2009

Vydáno

1. 9. 2009

ISSN

0447-6441

Periodikum

Jemná mechanika a optika

Ročník

54

Číslo

7-8

Stát

Česká republika

Strany od

209

Strany do

214

Strany počet

5

BibTex

@article{BUT48479,
  author="Petr {Bábor} and Radek {Duda} and Stanislav {Průša} and Tomáš {Matlocha} and Miroslav {Kolíbal} and Radek {Kalousek} and Jan {Neuman} and Michal {Urbánek} and Tomáš {Šikola}",
  title="Mechanika iontů jako prostředek k analýze nanosvěta",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  year="2009",
  volume="54",
  number="7-8",
  pages="209--214",
  issn="0447-6441"
}