Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
Detail publikace
BÁBOR, P. DUDA, R. PRŮŠA, S. MATLOCHA, T. KOLÍBAL, M. KALOUSEK, R. NEUMAN, J. URBÁNEK, M. ŠIKOLA, T.
Originální název
Mechanika iontů jako prostředek k analýze nanosvěta
Anglický název
Ion mechanics as a tool for nano-world analysis
Typ
článek v časopise - ostatní, Jost
Jazyk
čeština
Originální abstrakt
V tomto článku je diskutována problematika interakce iontů s pevnou látkou. Podrobněji je diskutována možnost využití mechanických vlastností iontů k analýze 2D nanostruktur (vrstev s tloušťkou v jednotkách nanometrů) pomocí metod SIMS a TOF-LEIS
Anglický abstrakt
In the contribution the result on the combination of ion sputtering and scattering processes for achieving enhanced complementary information on the analyzed multilayer are reported. Physical background of ion-solid interactions is discussed. Specifically, the combination of SIMS and TOF-LEIS techniques will be introduced.
Klíčová slova
SIMS, TOF-LEIS, HRTEM, hloubkové profilování, interakce iontů, rozptyl iontů, MoSi
Klíčová slova v angličtině
SIMS, TOF-LEIS, HRTEM, depth profilling, interactions of ions, ion scaterring, MoSi
Autoři
BÁBOR, P.; DUDA, R.; PRŮŠA, S.; MATLOCHA, T.; KOLÍBAL, M.; KALOUSEK, R.; NEUMAN, J.; URBÁNEK, M.; ŠIKOLA, T.
Rok RIV
2009
Vydáno
1. 9. 2009
ISSN
0447-6441
Periodikum
Jemná mechanika a optika
Ročník
54
Číslo
7-8
Stát
Česká republika
Strany od
209
Strany do
214
Strany počet
5
BibTex
@article{BUT48479, author="Petr {Bábor} and Radek {Duda} and Stanislav {Průša} and Tomáš {Matlocha} and Miroslav {Kolíbal} and Radek {Kalousek} and Jan {Neuman} and Michal {Urbánek} and Tomáš {Šikola}", title="Mechanika iontů jako prostředek k analýze nanosvěta", journal="Jemná mechanika a optika", year="2009", volume="54", number="7-8", pages="209--214", issn="0447-6441" }