Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
Detail publikace
VOBORNÝ, S., ŠIKOLA, T., PRŮŠA, S., ZLÁMAL, J., BÁBOR, P.
Originální název
Diagnostics and optimization of ion source parameters
Typ
článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus
Jazyk
angličtina
Originální abstrakt
This contribution deals with diagnostics and consequent optimization of plasmatic ion source. Ion-beam current density and ion current loss measurements are determined with the attempt of improving ion-beam transportation characteristics.
Klíčová slova v angličtině
ion source, optimization, thin film deposition
Autoři
Rok RIV
2002
Vydáno
15. 11. 2001
Nakladatel
FEI VUT v Brně
Místo
Brno
ISBN
80-214-1992-X
Kniha
Sborník příspěvků konference Nové trendy ve fyzice
Strany od
304
Strany do
309
Strany počet
6
BibTex
@{BUT69632 }