Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
Detail publikace
LOPOUR, F., ŠIKOLA, T., ŠKODA, D.
Originální název
Fabrication of nanostructures by AFM local Oxidation
Typ
článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus
Jazyk
angličtina
Originální abstrakt
In the paper AFM studies of microstructures etched by ion beams into Si and Au surfaces, and AFM local anodic oxidation of Ti thin films is presented. Using the AFM technique the etching limits of inert atoms in production of silicon and silver grids were found. It was proved that the height of Ti oxide lines fabricated by AFM increases linearly with the voltage between a tip and a sample. On the other hand, the half-width of the lines did not depend linearly on this voltage. The results are useful for studies of quantum effects in nanostructures and experiments in fabrication of nanoelectronic devices (e.g. SET).
Klíčová slova v angličtině
AFM fabrication, local anodic oxidation, oxide nanostructures
Autoři
Rok RIV
2002
Vydáno
15. 11. 2001
Nakladatel
FEI VUT v Brně
Místo
Brno
ISBN
80-214-1992-X
Kniha
Sborník příspěvků konference Nové trendy ve fyzice
Strany od
394
Strany do
399
Strany počet
6
BibTex
@{BUT69641 }