Detail produktu

UHV rotační piezo posuv

NOVÁČEK, Z. NEUMAN, J. ŠIKOLA, T. KALOUSEK, R. ZLÁMAL, J.

Typ produktu

funkční vzorek

Abstrakt

Počítačem ovládaný krokový rotační posuv ve 3 osách. Nastavení rychlosti posuvu a volba velikosti úhlového kroku. Systém navržený pro UHV podmínky.

Klíčová slova

Piezo motor; 3-osý pohyb; UHV AFM; zaměřování laserového svazku

Datum vzniku

24. 11. 2008

Umístění

A2/518

Možnosti využití

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

www

VUT