Detail produktu

Ionizační detektor pro detekci SE v EREM

JIRÁK, J. ČERNOCH, P.

Typ produktu

funkční vzorek

Abstrakt

Detektor pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop (EREM), pracující na principu zesílení signálních elektronů nárazovou ionizací v plynném prostředí komory vzorku. Elektrodový systém detektoru je optimalizován pro detekci převážně sekundárních elektronů pro zajištění převážně topografického kontrastu v obraze vzorku.

Klíčová slova

Ionizační detektor, EREM, detekce sekundárních elektronů

Datum vzniku

9. 2. 2009

Umístění

EREM Aquasem, ÚPT AVČR Královopolská 147, 612 64 Brno.

Možnosti využití

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

www

http://www.uete.feec.vutbr.cz