Detail produktu

Softwarová analýza proudění plynů diferenciálně čerpané komory odladěná na platformě solidworks.

MAXA, J. JIRÁK, J. NEDĚLA, V.

Typ produktu

software

Abstrakt

Softwarová analýza proudění plynů u tří navržených tvarů diferenciálně čerpané komory environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu s ohledem na optimalizaci podmínek pro průchod primárního svazku elektronů. Analýza je odladěná na platformě Solidworks.

Klíčová slova

elektronová mikroskopie, diferenciálně čerpaná komora, EREM

Datum vzniku

1. 7. 2009

Umístění

VUT, FEKT, UETE, Údolní 53, Brno, 602 00

Možnosti využití

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

www