Detail produktu

IonProfile

BÁBOR, P. DUDA, R. ŠIKOLA, T. PAVERA, M. POLČÁK, J.

Typ produktu

software

Abstrakt

Soubor programů umožňující řízení hloubkových profiloměrů SIMS, TOF-LEIS a XPS. Jsou zde zahrnuty programy pro zpracování a simulace měřených dat metodou TOF-LEIS.

Klíčová slova

SIMS, XPS, TOF, LEIS, profilování, simulace, odprašování, ionty

Datum vzniku

18. 12. 2009

Umístění

Laboratoř 518

Možnosti využití

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

www

http://physics.fme.vutbr.cz/ufi.php?Action=0&Id=1854