Detail publikace

SEM a AFM studie morfologie tenkých vrstev tuhého roztoku SiC-AlN

DALLAEVA, D. TOMÁNEK, P. BILALOV, B. KOROSTYLEV, E.

Originální název

SEM a AFM studie morfologie tenkých vrstev tuhého roztoku SiC-AlN

Anglický název

SEM and AFM study of thin film SiC-AlN solid solution morphology

Typ

článek v časopise - ostatní, Jost

Jazyk

čeština

Originální abstrakt

Cílem této studie bylo jednak vytvoření tenkých vrstev SiC/(SiC)(1-x)(AlN)x sublimační epitaxí polykrystalického zdroje (SiC)(1-x)(AlN)x a jednak jejich charakterizace pomocí skenovací elektronové mikroskopie a mikroskopie atomárních sil. Pro vznik vrstev byly definovány optimální podmínky sublimačního procesu. Vzniklé struktury mohou být použity jako substráty pro polovodičové součástky na bázi nitridů, tj. GaN, AlN a jejich slitin, pro výrobu tranzistorů s vysokou elektronovou mobilitou, či světelných zdrojů (LED a laserových diod) vyzařujících v modré a ultrafialové oblasti spektra. Výsledky analýzy pomocí SEM a AFM ukázaly, že již při teplotě 2300 K je možné pomocí sublimační epitaxe vytvořit tenké vrstvy nitridu hliníku a jeho tuhých roztoků.

Anglický abstrakt

The paper bring results of SiC/(SiC)(1-x)(AlN)x thin films manufacturing by sublimation epitaxy of the polycrystalline source of (SiC)1-x(AlN)x. Their characterization by scanning electron microscopy and atomic force microscopy. was also provided, and optimal conditions of sublimation process were defined. These structures could be used as substrate for design of semiconductor devices on the basis of nitrides, including gallium nitride, aluminum nitride and their alloys. The results of SEM and AFM analysis shown, that the temperatures of 2300 K is sufficient to obtain aluminium nitrate thin films and also its solid solutions.

Klíčová slova

karbid křemíku, nitrid hliníku, epitaxe, SEM, AFM

Klíčová slova v angličtině

silicon carbide, aluminum nitride, epitaxy, SEM, AFM

Autoři

DALLAEVA, D.; TOMÁNEK, P.; BILALOV, B.; KOROSTYLEV, E.

Rok RIV

2013

Vydáno

18. 3. 2013

Nakladatel

FZÚ AV ČR

Místo

Praha

ISSN

0447-6441

Periodikum

Jemná mechanika a optika

Ročník

58

Číslo

3

Stát

Česká republika

Strany od

75

Strany do

77

Strany počet

3

BibTex

@article{BUT98418,
  author="Dinara {Sobola} and Pavel {Tománek} and Bilal {Bilalov} and Evgenij {Korostylev}",
  title="SEM a AFM studie morfologie tenkých vrstev tuhého roztoku SiC-AlN",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  year="2013",
  volume="58",
  number="3",
  pages="75--77",
  issn="0447-6441"
}