Detail publikace

In-situ analysis of PMPSI by spectroscopic ellipsometry and XPS

ČECHAL, J., TICHOPÁDEK, P., NEBOJSA, A., BONAVENTUROVÁ - ZRZAVECKÁ, O., URBÁNEK, M., NAVRÁTIL, K., ŠIKOLA, T.

Originální název

In-situ analysis of PMPSI by spectroscopic ellipsometry and XPS

Typ

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

Jazyk

angličtina

Originální abstrakt

Degradation of PMPSi under temperature and UV light uder UHV conditions studied by XPS and spectroscopic ellipsometry.

Klíčová slova v angličtině

XPS, PMPSi, spectroscopic ellipsometry

Autoři

ČECHAL, J., TICHOPÁDEK, P., NEBOJSA, A., BONAVENTUROVÁ - ZRZAVECKÁ, O., URBÁNEK, M., NAVRÁTIL, K., ŠIKOLA, T.

Rok RIV

2003

Vydáno

6. 10. 2003

Nakladatel

ECASIA

Místo

Berlin

Strany od

226

Strany do

226

Strany počet

1

BibTex

@inproceedings{BUT11096,
  author="Jan {Čechal} and Petr {Tichopádek} and Alois {Nebojsa} and Olga {Bonaventurová - Zrzavecká} and Michal {Urbánek} and Karel {Navrátil} and Tomáš {Šikola}",
  title="In-situ analysis of PMPSI by spectroscopic ellipsometry and XPS",
  booktitle="ECASIA 10 Book of Abstracts",
  year="2003",
  pages="1",
  publisher="ECASIA",
  address="Berlin"
}