Detail publikace

On the Calculation of SEM and FIB Beam Profiles

KOLOŠOVÁ, J. HRNČÍŘ, T. JIRUŠE, J. RUDOLF, M. ZLÁMAL, J.

Originální název

On the Calculation of SEM and FIB Beam Profiles

Typ

článek v časopise ve Scopus, Jsc

Jazyk

angličtina

Originální abstrakt

In this paper we describe the results of calculations, based on detailed manufacturer’s knowledge of the instrument optical system. This is compared to experimentally measured resolution and the correlation of these data is discussed.

Klíčová slova

Electron optics; Calculations; EOD

Autoři

KOLOŠOVÁ, J.; HRNČÍŘ, T.; JIRUŠE, J.; RUDOLF, M.; ZLÁMAL, J.

Rok RIV

2015

Vydáno

30. 6. 2015

ISSN

1431-9276

Periodikum

MICROSCOPY AND MICROANALYSIS

Ročník

21

Číslo

S4

Stát

Spojené státy americké

Strany od

206

Strany do

211

Strany počet

6

BibTex

@article{BUT119197,
  author="Jolana {Kološová} and Tomáš {Hrnčíř} and Jaroslav {Jiruše} and Miroslav {Rudolf} and Jakub {Zlámal}",
  title="On the Calculation of SEM and FIB Beam Profiles",
  journal="MICROSCOPY AND MICROANALYSIS",
  year="2015",
  volume="21",
  number="S4",
  pages="206--211",
  doi="10.1017/S1431927615013380",
  issn="1431-9276"
}