Detail publikace

Rentgenová počítačová tomografie elektronické vrstvy snímače otáček

DVOŘÁK, J. ZIKMUND, T. KOUŘIL, J. GEJDOŠ, P. KAISER, J.

Originální název

Rentgenová počítačová tomografie elektronické vrstvy snímače otáček

Anglický název

X-ray computed tomography of electronic layer of speed sensor

Typ

článek v časopise - ostatní, Jost

Jazyk

čeština

Originální abstrakt

Článek prezentuje schopnosti rentgenové počítačové tomografie pro zobrazení vnitřní struktury elektronických součástek. tomografická inspece byla provedena na snímači otáček fungujícího na principu Hallovy sondy, ve kterém byla zkoumána elektronická vrstva o tloušťce v řádu jednotek mikrometrů. Za účelem zobrazení této vrstvy byl použit unikátní nano-CT systém a nejmodernější průmyslový mikro-CT systém. Proveditelnost tomorafického měření s vysokým rozlišením ukazuje požadavky na úpravu vzorku pro takové analýzy a výsledky demnostrují rozlišovací schopnosti obou systémů.

Anglický abstrakt

The article presents abilities of X-ray computed tomography to display internal structure of the electronic components. Tomographic measurements were performed on the speed sensor which operates on the principal of Hall probes. Examined layer with electronics inside the sensor had a thickness in the order of micrometers. Special nanoCT adn the latest industrial micro-CT system was used for visualisation of this layer. Feasibility of tomographic measurements with high resolution shows the requirements for preparation of a sample for such analyzes and the results which demonstrate the resolution of both system.

Klíčová slova

Rentgenová počítačová tomografie, mikroCT, nanoCT, snímače otáček

Klíčová slova v angličtině

x-ray computed tomography, microCT, nanoCT, speed sensor

Autoři

DVOŘÁK, J.; ZIKMUND, T.; KOUŘIL, J.; GEJDOŠ, P.; KAISER, J.

Vydáno

1. 6. 2016

Nakladatel

Fyzikální ústav Akademie věd České republiky

ISSN

0447-6441

Periodikum

Jemná mechanika a optika

Ročník

61

Číslo

6

Stát

Česká republika

Strany od

165

Strany do

168

Strany počet

4

BibTex

@article{BUT130303,
  author="Jindřich {Dospiva} and Tomáš {Zikmund} and Jiří {Kouřil} and Pavel {Gejdoš} and Jozef {Kaiser}",
  title="Rentgenová počítačová tomografie elektronické vrstvy snímače otáček",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  year="2016",
  volume="61",
  number="6",
  pages="165--168",
  issn="0447-6441"
}