Detail publikace

Plasma-Polymerized Thin Films of Hexamethyldisiloxane Prepared at Low RF Power

BÁLKOVÁ, R., PŘIKRYL, R., SALYK, O.

Originální název

Plasma-Polymerized Thin Films of Hexamethyldisiloxane Prepared at Low RF Power

Typ

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

Jazyk

angličtina

Originální abstrakt

The plasma-polymerized HMDSO films were characterized by many techniques suitable to investigate their mechanical and thermal properties, and to determine composition, structure and surface morphology.

Klíčová slova v angličtině

thin films, plasma polymerization, FTIR, ESCA/XPS, scratch test, modulus

Autoři

BÁLKOVÁ, R., PŘIKRYL, R., SALYK, O.

Rok RIV

2001

Vydáno

1. 1. 2001

Nakladatel

GREMI, CNRS/University of Orleans

Místo

Orleans, France

Strany od

1747

Strany do

1753

Strany počet

7

BibTex

@inproceedings{BUT3791,
  author="Radka {Bálková} and Radek {Přikryl} and Ota {Salyk}",
  title="Plasma-Polymerized Thin Films of Hexamethyldisiloxane Prepared at Low RF Power",
  booktitle="15th Int. Symposium on Plasma Chemistry",
  year="2001",
  pages="7",
  publisher="GREMI, CNRS/University of Orleans",
  address="Orleans, France"
}