Detail publikace

In situ analysis of PMPSi by spectroscopic ellipsometry and XPS

ČECHAL, J. TICHOPÁDEK, P. NEBOJSA, A. BONAVENTUROVÁ, O. URBÁNEK, M. SPOUSTA, J. NAVRÁTIL, K. ŠIKOLA, T.

Originální název

In situ analysis of PMPSi by spectroscopic ellipsometry and XPS

Typ

článek v časopise - ostatní, Jost

Jazyk

angličtina

Originální abstrakt

Paper deals with an in situ analysis of PMPSi by spectroscopic ellipsometry and XPS

Klíčová slova v angličtině

PMPSi, optical degradation. spectroscopic ellipsometry, XPS

Autoři

ČECHAL, J.; TICHOPÁDEK, P.; NEBOJSA, A.; BONAVENTUROVÁ, O.; URBÁNEK, M.; SPOUSTA, J.; NAVRÁTIL, K.; ŠIKOLA, T.

Rok RIV

2004

Vydáno

1. 1. 2004

ISSN

0142-2421

Periodikum

Surface and Interface Analysis

Ročník

38

Číslo

8

Stát

Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Strany od

1218

Strany do

1221

Strany počet

4

BibTex

@article{BUT42361,
  author="Jan {Čechal} and Petr {Tichopádek} and Alois {Nebojsa} and Olga {Bonaventurová} and Michal {Urbánek} and Jiří {Spousta} and Karel {Navrátil} and Tomáš {Šikola}",
  title="In situ analysis of PMPSi by spectroscopic ellipsometry and XPS",
  journal="Surface and Interface Analysis",
  year="2004",
  volume="38",
  number="8",
  pages="4",
  issn="0142-2421"
}