Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
Detail publikace
TOMÁNEK, P., GRMELA, L.
Originální název
Polovodiče: lokální optické a elektrické vlastnosti, ME 544
Anglický název
Semiconductors: local optical and electrical characteristics, ME 544
Typ
výzkumná zpráva
Jazyk
čeština
Originální abstrakt
Na základě předchozí prací v Laboratoři optické nanometrologie FEKT VUT jsou základními cíli této studie:1.Lokální spektroskopická měření s prostorovým a časovým rozlišení na polovodičových nanostrukturách, 2.Studium interakce sondy s předmětem v případě hybridního SNOM, 3.Diagnostika polovodičových nanostruktur a součástek,4.Studium akcelerovaného stárnutí součástek vedoucí k vyšší spolehlivosti součástek.
Anglický abstrakt
Due to the preliminary research activities probes, accomplished during last years at Laboratory of Optical Nanometrology of Faculty of Electrical Engineering and Communication, Brno University of Technology, the main targets of this study are: 1.Spatially and temporary resolved spectroscopic measurement of the local photocurrent in the semiconductor nanostructures. 2.Study of the interaction probe tip - sample in the case of SNOM working in hybrid mode. 3. Diagnostics of semiconductor nanomaterials and devices. 4.Study of accelerated ageing of structures leading to the better reliability and life of semiconductor devices.
Klíčová slova v angličtině
semiconductor, scanning near-field optical microscopy, local optical characteristics, local electrical characteristics, reliability, aging process
Autoři
Vydáno
6. 12. 2002
Nakladatel
MŠMT
Místo
Brno
Strany počet
18
BibTex
@techreport{BUT56881, author="Pavel {Tománek} and Lubomír {Grmela}", title="Polovodiče: lokální optické a elektrické vlastnosti, ME 544", year="2002", publisher="MŠMT", address="Brno", series="neuvedeno", pages="18" }