Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
Detail publikace
ČECH, V.
Originální název
Perspectives of a-SiOC:H thin films
Typ
přednáška
Jazyk
angličtina
Originální abstrakt
We would like to introduce plasma polymerization as a technique capable to prepare high quality a-SiOC:H thin films with high reproducibility. The hydrogenated amorphous silicon oxycarbide (a-SiOC:H) thin film can be prepared using organosilicon precursors and physico-chemical properties of the film are controlled by deposition conditions. Development of tailored materials in a form of single films or layered structures has great potential for multicomponent, optical and electronic devices.
Klíčová slova
thin film; plasma polymerization
Autoři
Vydáno
3. 10. 2005
Místo
COST workshop Sant Feliu, Španělsko
BibTex
@misc{BUT64921, author="Vladimír {Čech}", title="Perspectives of a-SiOC:H thin films", year="2005", address="COST workshop Sant Feliu, Španělsko", note="lecture" }