Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
Detail publikace
ČECH, V.
Originální název
Pulsed Plasma Used to Control Properties of a-SiOC:H Alloys
Typ
článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus
Jazyk
angličtina
Originální abstrakt
Plasma polymer films were deposited from organosilicon monomers (hexamethyldisiloxane, vinyltriethoxysilane, and tetra-vinylsilane (pure or in a mixture with oxygen gas) by pulsed plasma at different power (0.05–40 W). The deposited materials in the form of hydrogenated amorphous carbon-silicon oxide (a-SiOC:H) alloy are discussed with respect to their chemical, optical, mechanical, and surface properties controlled by pulsed plasma.
Klíčová slova
thin films, PECVD, fiber-reinforced composites
Autoři
Vydáno
17. 12. 2012
Strany od
1
Strany do
4
Strany počet
BibTex
@inproceedings{BUT97134, author="Vladimír {Čech}", title="Pulsed Plasma Used to Control Properties of a-SiOC:H Alloys", booktitle="Proceedings 7th Asia-Pacific Int. Symp. Basics Appl. Plasma Technology (APSPT-7)", year="2012", pages="1--4" }