Přístupnostní navigace
E-application
Search Search Close
Project detail
Duration: 01.01.2018 — 31.12.2019
Funding resources
Technologická agentura ČR - Program na podporu aplikovaného výzkumu ZÉTA
- whole funder (2017-12-05 - 2019-12-31)
On the project
Vývoj a aplikace zdroje atomárního svazku vodíku pro použití ve skenovacím elektronovém mikroskopu. Bude vyvinuto efektivní odstínění, které bude umožňovat pozorování vzorků během expozice atomárním svazkem.
Description in EnglishDevelopment of an source for generation of atomic hydrogen in a scanning electron microscope. Research and development of methodology for characterization of surface changes of semiconductor and metal samples after exposure to atomic hydrogen.
Keywordsvodík, atomární, redoxní reakce, vakuum, skenovací elektronový mikroskopo (SEM)
Key words in Englishhydrogen, atomic, redox reactions, vacuum, scanning electron microscope (SEM)
Mark
TJ01000271
Default language
Czech
People responsible
Bukvišová Kristýna, Ing. - fellow researcherKolíbal Miroslav, doc. Ing., Ph.D. - fellow researcherVyroubal Ondřej, Ing. - fellow researcherDhankhar Meena, Ph.D. - principal person responsible
Units
Central European Institute of Technology BUT- beneficiary (2017-05-02 - not assigned)Fabrication and Characteris. of Nanostr.- co-beneficiary (2018-01-01 - 2019-12-31)
Results
MACH, J.; KOLÍBAL, M.; MUSÁLEK, T.: H-source for SEM; Funkční vzorek zdroje atomárního vodíku pro SEM. A2/518, Technická 2, Brno 61669. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2018-01/. (funkční vzorek)Detail
KOLÍBAL, M.; DHANKHAR, M.; BUKVIŠOVÁ, K.; NOVÁK, L.: Ověřená technologie použití aH v SEM; Verified technology for utilization of atomic hydrogen source in SEM. Laboratoř povrchů a tenkých vrstev, Technická 2, A2/518. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/technology-for-observation-of-redox-reactions-in-sem/. (ověřená technologie)Detail
MACH, J.; KOLÍBAL, M.: ovládací jednotka pro atH zdroj; Ovládací jednotka pro zdroj atomárního vodíku. Laboratoř povrchů a tenkých vrstev, Technická 2, A2-518. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2019-athunit/. (funkční vzorek)Detail