This project was co-financed with state support of the CR Technological Agency as part of Programu na podporu aplikovaného výzkumu ZÉTA
www.tacr.cz
Research useful for society.

Project detail

Development of atomic source for applications in electron microscopy

Duration: 01.01.2018 — 31.12.2019

Funding resources

Technologická agentura ČR - Program na podporu aplikovaného výzkumu ZÉTA

- whole funder (2017-12-05 - 2019-12-31)

On the project

Vývoj a aplikace zdroje atomárního svazku vodíku pro použití ve skenovacím elektronovém mikroskopu. Bude vyvinuto efektivní odstínění, které bude umožňovat pozorování vzorků během expozice atomárním svazkem.

Description in English
Development of an source for generation of atomic hydrogen in a scanning electron microscope. Research and development of methodology for characterization of surface changes of semiconductor and metal samples after exposure to atomic hydrogen.

Keywords
vodík, atomární, redoxní reakce, vakuum, skenovací elektronový mikroskopo (SEM)

Key words in English
hydrogen, atomic, redox reactions, vacuum, scanning electron microscope (SEM)

Mark

TJ01000271

Default language

Czech

People responsible

Bukvišová Kristýna, Ing. - fellow researcher
Kolíbal Miroslav, prof. doc. Ing., Ph.D. - fellow researcher
Vyroubal Ondřej, Ing. - fellow researcher
Dhankhar Meena, Ph.D. - principal person responsible

Units

Central European Institute of Technology BUT
- beneficiary (2017-05-02 - not assigned)
Fabrication and Characteris. of Nanostr.
- co-beneficiary (2018-01-01 - 2019-12-31)

Results

MACH, J.; KOLÍBAL, M.; MUSÁLEK, T.: H-source for SEM; Funkční vzorek zdroje atomárního vodíku pro SEM. A2/518, Technická 2, Brno 61669. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2018-01/. (funkční vzorek)
Detail

KOLÍBAL, M.; DHANKHAR, M.; BUKVIŠOVÁ, K.; NOVÁK, L.: Ověřená technologie použití aH v SEM; Verified technology for utilization of atomic hydrogen source in SEM. Laboratoř povrchů a tenkých vrstev, Technická 2, A2/518. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/technology-for-observation-of-redox-reactions-in-sem/. (ověřená technologie)
Detail

MACH, J.; KOLÍBAL, M.: ovládací jednotka pro atH zdroj; Ovládací jednotka pro zdroj atomárního vodíku. Laboratoř povrchů a tenkých vrstev, Technická 2, A2-518. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2019-athunit/. (funkční vzorek)
Detail

Responsibility: Dhankhar Meena, Ph.D.