Tento projekt byl spolufinancován se státní podporou Technologické agentury ČR v rámci Programu na podporu aplikovaného výzkumu ZÉTA
www.tacr.cz
Výzkum užitečný pro společnost.

Detail projektu

Vývoj atomárního zdroje pro aplikace v elektronové mikroskopii

Období řešení: 01.01.2018 — 31.12.2019

Zdroje financování

Technologická agentura ČR - Program na podporu aplikovaného výzkumu ZÉTA

- plně financující (2017-12-05 - 2019-12-31)

O projektu

Vývoj a aplikace zdroje atomárního svazku vodíku pro použití ve skenovacím elektronovém mikroskopu. Bude vyvinuto efektivní odstínění, které bude umožňovat pozorování vzorků během expozice atomárním svazkem.

Popis anglicky
Development of an source for generation of atomic hydrogen in a scanning electron microscope. Research and development of methodology for characterization of surface changes of semiconductor and metal samples after exposure to atomic hydrogen.

Klíčová slova
vodík, atomární, redoxní reakce, vakuum, skenovací elektronový mikroskopo (SEM)

Klíčová slova anglicky
hydrogen, atomic, redox reactions, vacuum, scanning electron microscope (SEM)

Označení

TJ01000271

Originální jazyk

čeština

Řešitelé

Dhankhar Meena, Ph.D. - hlavní řešitel
Bukvišová Kristýna, Ing. - spoluřešitel
Kolíbal Miroslav, prof. doc. Ing., Ph.D. - spoluřešitel
Vyroubal Ondřej, Ing. - spoluřešitel

Útvary

Příprava a charakterizace nanostruktur
- spolupříjemce (01.01.2018 - 31.12.2019)
Středoevropský technologický institut VUT
- příjemce (02.05.2017 - nezadáno)

Výsledky

MACH, J.; KOLÍBAL, M.; MUSÁLEK, T.: H-source for SEM; Funkční vzorek zdroje atomárního vodíku pro SEM. A2/518, Technická 2, Brno 61669. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2018-01/. (funkční vzorek)
Detail

KOLÍBAL, M.; DHANKHAR, M.; BUKVIŠOVÁ, K.; NOVÁK, L.: Ověřená technologie použití aH v SEM; Verified technology for utilization of atomic hydrogen source in SEM. Laboratoř povrchů a tenkých vrstev, Technická 2, A2/518. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/technology-for-observation-of-redox-reactions-in-sem/. (ověřená technologie)
Detail

MACH, J.; KOLÍBAL, M.: ovládací jednotka pro atH zdroj; Ovládací jednotka pro zdroj atomárního vodíku. Laboratoř povrchů a tenkých vrstev, Technická 2, A2-518. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2019-athunit/. (funkční vzorek)
Detail

Odpovědnost: Dhankhar Meena, Ph.D.