Project detail

Smart MEMS/NEMS resonators with functional material layers utilizing local and global nonlinearities for ultrasensitive (bio)sensing applications

Duration: 01.01.2021 — 31.12.2023

Funding resources

Czech Science Foundation - Mezinárodní projekty

- whole funder (2021-02-23 - 2023-12-31)

On the project

Současné pokroky ve vědních oblastech nanotechnologií umožňují navrhnout vícevrstvé soustavy s velmi dobrými funkčními vlastnosti, které lze využít ve fotovoltaice, mikroelektronice, optice nebo pro konstrukci laditelných rezonátorů nebo fyzikálních, chemických a biologických senzorů. Skládají se z několika materiálových vrstev, jako jsou piezoelektrická, fotorezistentní nebo vrstva s tvarovou pamětí. Vzhledem k jejich složité struktuře mohou tyto soustavy vykazovat nelineární chování. Projekt se zaměřuje na problematiku jejich porozumění a to do té míry, aby bylo možné tyto nelineární jevy využít ve prospěch daného senzoru nebo jim naopak předejít. Cílem projektu je teoreticky i experimentálně zkoumat vícevrstvé mikro-/nanorezonátory s různými globálními a lokálními nelinearitami a na základě rozměrově víceúrovňových modelů vyhodnocovat hranice jejich použitelnosti. Výsledky řešení projektu budou významné pro návrh nových zařízení mikro/nano rozměrů a z širšího hlediska přispějí ke zkoumání a pochopení řady problémů v oblasti nelineárních dynamických soustav.

Description in English
Recent advances in nanotechnology allow us to design sensors with multi-layered architecture to achieve their superior performance and ultrasensitive response. The proposed project aims to develop a tunable micro/nano-mechanical resonator consisting of piezoelectric, photo-resistive, or even functional (memory shape) materials for a wide array of applications including biomedical, photovoltaics or micro-electronics. A sensor with such a complex structure would inevitably exhibit nonlinear behaviour coming from either global or local nonlinearities. Hence, it is desirable to well understand such behavior to either exploit it in a favor of the sensor or to avoid it. In this project, we thus plan to closely study this issue, both theoretically and experimentally, to understand physics behind and enable tailoring new powerful sensors or nonlinear dynamical systems for various applications. To this end multiscale mathematical models will be developed and confronted with experiments performed on both Czech and Taiwanese side. Synergy of rich experience of both sides will be utilized.

Keywords
Nelineární mechanika;Nanomechanika;Kmitání;Matematické modelování;Tenké filmy;Vrstevnaté rezonátory;Víceúrovňové modelování;Materiály s tvarovou pamětí

Key words in English
Nonlinear mechanics, Nanomechanics, Vibrations, Mathematical Modelling, Thin films, Multilayered resonators, Multi-scale modelling, Shape memory alloys

Mark

21-12994J

Default language

Czech

People responsible

Ševeček Oldřich, Ing., Ph.D. - principal person responsible

Units

Institute of Solid Mechanics, Mechatronics and Biomechanics
- beneficiary (2020-04-20 - not assigned)

Results

STACHIV, I.; MACHŮ, Z.; ŠEVEČEK, O.; TUHOVČÁK, O.; KOTOUL, M.; JENG, Y. Resolving measurement of large (similar to GDa) chemical/biomolecule complexes with multimode nanomechanical resonators. Sensors and Actuators B: Chemical, 2022, vol. 353, no. 15, p. 1-9. ISSN: 0925-4005.
Detail

STACHIV, I.; MACHŮ, Z.; ŠEVEČEK, O.; JENG, Y.; LI, W.; KOTOUL, M.; PRÁŠEK, J. Achievable accuracy of resonating nanomechanical systems for mass sensing of larger analytes in GDa range. INTERNATIONAL JOURNAL OF MECHANICAL SCIENCES, 2022, vol. 224, no. červen, p. 1-15. ISSN: 0020-7403.
Detail

Jerzy Margielewicz, Damian Gąska, Tomasz Haniszewski, Grzegorz Litak, Piotr Wolszczak, Marek Borowiec, Petr Sosna, Oldřich Ševeček, Ondřej Rubeš, Zdeněk Hadaš. Vibration energy harvesting system with cyclically time-varying potential barrier. APPLIED ENERGY, 2024, vol. 367, no. 123384, ISSN: 0306-2619.
Detail

VENSKÝ, J.; ŠEVEČEK, O.; SKALKA, P.; STACHIV, I.; KOTOUL, M. Novel approach for mass sensing using non-linear micromechanical resonators. 24th International Scientific Conference APPLIED MECHANICS 2023 Book of Abstracts. Bratislava, Slovakia: SPEKTRUM STU, Slovak university of Technology, 2023. ISBN: 978-80-227-5294-7.
Detail

ŠEVEČEK, O.; SKALKA, P.; VENSKÝ, J.; KOTOUL, M.; PRÁŠEK, J.; STACHIV, I. Increasing Sensitivity of Mass Detection Using Nonlinear Micro/Nano-Mechanical Resonators. In Proceedings of IEEE Sensors 2023. The Seventh IEEE Conference on SENSORS. Vienna, Austria: Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., 2023. ISBN: 979-8-3503-0387-2. ISSN: 1930-0395.
Detail

VENSKÝ, J.; ŠEVEČEK, O.; SKALKA, P.; KOTOUL, M.; STACHIV, I. Mass sensing using micromechanical resonators operating in nonlinear regime. In 2022 20th International Conference on Mechatronics - Mechatronika (ME). Pilsen, Czech Republic: IEEE, 2022. ISBN: 978-1-6654-1040-3.
Detail