Product detail
Rezonanční membrána vyrobená z nitridu křemíku pro snímání akustických vln
SVATOŠ, V. PEKÁREK, J. ŽÁK, J. PRÁŠEK, J. HUBÁLEK, J.
Product type
funkční vzorek
Abstract
Rezonanční membrána vyrobená z tenké membrány nitride křemíku s elektrodou z chrom-niklu je používaná pro detekci akustických vln o určité frekvenci. Křemíková struktura je vyrobená využitím standartních křemíkových technologií a je kontaktována k čipovému pouzdru. Detekce akustického signálu je založeno na rezonanci membrány, která kmitá při působením mechanických vln s frekvencí se stejnou hodnotou jako vlastní frekvence materiálu membrány v tomto případě SixNy vytvořeného metodou LPCVD.
Keywords
rezonanční membrána, nitrid křemíku
Create date
8. 12. 2014
Location
Laboratoř 0.66 UMEL, VUT, Technická 10, Brno
Possibilities of use
K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee
Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
www