Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
Detail produktu
SVATOŠ, V. PEKÁREK, J. ŽÁK, J. PRÁŠEK, J. HUBÁLEK, J.
Typ produktu
funkční vzorek
Abstrakt
Rezonanční membrána vyrobená z tenké membrány nitride křemíku s elektrodou z chrom-niklu je používaná pro detekci akustických vln o určité frekvenci. Křemíková struktura je vyrobená využitím standartních křemíkových technologií a je kontaktována k čipovému pouzdru. Detekce akustického signálu je založeno na rezonanci membrány, která kmitá při působením mechanických vln s frekvencí se stejnou hodnotou jako vlastní frekvence materiálu membrány v tomto případě SixNy vytvořeného metodou LPCVD.
Klíčová slova
rezonanční membrána, nitrid křemíku
Datum vzniku
8. 12. 2014
Umístění
Laboratoř 0.66 UMEL, VUT, Technická 10, Brno
Možnosti využití
K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licenční poplatek
Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
www
http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=95