Přístupnostní navigace
E-application
Search Search Close
Product detail
GABLECH, I. PRÁŠEK, J.
Product type
funkční vzorek
Abstract
Jedná se o MEMS gravimetrický převodník tvořený piezoelektrickým nosníkovým rezonátorem buzeným střídavým napětím na jeho resonanční kmitočet. Piezoelektrikum je tvořeno tenkou vrstvou nitridu hlinitého (AlN). Rozměry jazýčků vytvořených na křemíkovém substrátu s SiO2 pasivační vrstvou jsou 200 x 800 um. Spodní elektrodu tvoří vhodně orientovaná vrstva titanu. Vrchní elektroda je tvořena zlatem. Citlivá vrstva se nanáší na konec jazýčku. Pro detekci plynů, vlhkosti, apod. lze například použít různé polymerní materiály nebo oxidy kovů.
Keywords
MEMS, gravimetrický senzor, jazýčkový rezonátor
Create date
6. 5. 2015
Location
LabSensNano T10-N0.66
Possibilities of use
K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee
Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
www
http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=69