Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
Detail produktu
GABLECH, I. PRÁŠEK, J.
Typ produktu
funkční vzorek
Abstrakt
Jedná se o MEMS gravimetrický převodník tvořený piezoelektrickým nosníkovým rezonátorem buzeným střídavým napětím na jeho resonanční kmitočet. Piezoelektrikum je tvořeno tenkou vrstvou nitridu hlinitého (AlN). Rozměry jazýčků vytvořených na křemíkovém substrátu s SiO2 pasivační vrstvou jsou 200 x 800 um. Spodní elektrodu tvoří vhodně orientovaná vrstva titanu. Vrchní elektroda je tvořena zlatem. Citlivá vrstva se nanáší na konec jazýčku. Pro detekci plynů, vlhkosti, apod. lze například použít různé polymerní materiály nebo oxidy kovů.
Klíčová slova
MEMS, gravimetrický senzor, jazýčkový rezonátor
Datum vzniku
6. 5. 2015
Umístění
LabSensNano T10-N0.66
Možnosti využití
K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licenční poplatek
Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
www
http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=69