Přístupnostní navigace
E-application
Search Search Close
Publication detail
BABOCKÝ, J. BOK, J. ŠIKOLA, T. FIALA, J.
Original Title
Tvorba plazmonických nanostruktur na elektricky nevodivých substrátech pomocí elektronové litografie
English Title
Fabrication of plasmonic nanostructures on non-conductive substrates using variable pressure electron beam lithography
Type
journal article - other
Language
Czech
Original Abstract
Výroba plasmonických nanoantén s rezonančními frekvencemi ve viditelné oblasti pomocí elektronové litografie mnohdy přináší nutnost expozice nevodivých substrátů. Tato práce je zaměřena na porovnání výsledků dosažitelných konvenčním přístupem za použití vodivých polymerů a alternativního postupu v podobě litografie za variabilního tlaku (VP-EBL). Dále je testována stabilita VP-EBL procesu pro dlouhodobé expozice.
English abstract
Fabrication of plasmonic nanoantennas with resonance frequencies in visible range is often challenging due to the necessity of exposure of non-conductive substrates. This work is focussed in comparism of conventionl fabrication approach using conductive polymer layers and alternative variable pressure electron beam lithography (VP-EBL) method. We have also studied the stability of VP-EBL process for long exposures.
Keywords
plasmonika, plasmonické antény, elektronová litografie, elektronová mikroskopie nevodivých vzorků, spektroskopie
Key words in English
plasmonics, plasmonic nanoantennas, electron beam lithography, scanning electron microscopy of non-conductive samples, spectroscopy
Authors
BABOCKÝ, J.; BOK, J.; ŠIKOLA, T.; FIALA, J.
Released
1. 6. 2016
ISBN
0447-6441
Periodical
Jemná mechanika a optika
Year of study
61
Number
6
State
Czech Republic
Pages from
157
Pages to
159
Pages count
3
BibTex
@article{BUT128331, author="Jiří {Babocký} and Jan {Bok} and Tomáš {Šikola} and Jiří {Fiala}", title="Tvorba plazmonických nanostruktur na elektricky nevodivých substrátech pomocí elektronové litografie", journal="Jemná mechanika a optika", year="2016", volume="61", number="6", pages="157--159", issn="0447-6441" }