Detail publikace

Tvorba plazmonických nanostruktur na elektricky nevodivých substrátech pomocí elektronové litografie

BABOCKÝ, J. BOK, J. ŠIKOLA, T. FIALA, J.

Originální název

Tvorba plazmonických nanostruktur na elektricky nevodivých substrátech pomocí elektronové litografie

Anglický název

Fabrication of plasmonic nanostructures on non-conductive substrates using variable pressure electron beam lithography

Typ

článek v časopise - ostatní, Jost

Jazyk

čeština

Originální abstrakt

Výroba plasmonických nanoantén s rezonančními frekvencemi ve viditelné oblasti pomocí elektronové litografie mnohdy přináší nutnost expozice nevodivých substrátů. Tato práce je zaměřena na porovnání výsledků dosažitelných konvenčním přístupem za použití vodivých polymerů a alternativního postupu v podobě litografie za variabilního tlaku (VP-EBL). Dále je testována stabilita VP-EBL procesu pro dlouhodobé expozice.

Anglický abstrakt

Fabrication of plasmonic nanoantennas with resonance frequencies in visible range is often challenging due to the necessity of exposure of non-conductive substrates. This work is focussed in comparism of conventionl fabrication approach using conductive polymer layers and alternative variable pressure electron beam lithography (VP-EBL) method. We have also studied the stability of VP-EBL process for long exposures.

Klíčová slova

plasmonika, plasmonické antény, elektronová litografie, elektronová mikroskopie nevodivých vzorků, spektroskopie

Klíčová slova v angličtině

plasmonics, plasmonic nanoantennas, electron beam lithography, scanning electron microscopy of non-conductive samples, spectroscopy

Autoři

BABOCKÝ, J.; BOK, J.; ŠIKOLA, T.; FIALA, J.

Vydáno

1. 6. 2016

ISSN

0447-6441

Periodikum

Jemná mechanika a optika

Ročník

61

Číslo

6

Stát

Česká republika

Strany od

157

Strany do

159

Strany počet

3

BibTex

@article{BUT128331,
  author="Jiří {Babocký} and Jan {Bok} and Tomáš {Šikola} and Jiří {Fiala}",
  title="Tvorba plazmonických nanostruktur na elektricky nevodivých substrátech pomocí elektronové litografie",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  year="2016",
  volume="61",
  number="6",
  pages="157--159",
  issn="0447-6441"
}