Publication detail

Úhlové rozložení zpětně odražených elektronů v ESEM.

WANDROL, P.

Original Title

Úhlové rozložení zpětně odražených elektronů v ESEM.

English Title

Angular distribution of backscattered electrons signal in Environmental Scanning Electron Microscopy

Type

conference paper

Language

Czech

Original Abstract

Cílem práce bylo ověřit vliv prostorového úhlu sběru zpětně odražených elektronů na velikost detekovaného signálu v ESEM.

English abstract

The aim of this work was to verify an influence of the collection solid angle on a magnitude of detected signal. The presented results of measurement was gained by an observation of the specimen of carbon covered with a thin layer of gold. The primary beam accelerating voltage was 20 kV. The collection solid angle was changed by application of aluminium masks with aperture diameters 2, 3, 4, 8, 16 mm mounted on scintillator. As a working environment in the specimen chamber were used air and saturated water vapour.

Keywords

prostorový úhel. zpětně odražené elektrony, ESEM

Key words in English

solid angle, backscattered electrons, ESEM

Authors

WANDROL, P.

RIV year

2004

Released

23. 10. 2002

Publisher

Západočeská univerzita v Plzni

Location

Plzeň

ISBN

80-7082-904-4

Book

Elektrotechnika a informatika 2002

Edition number

1

Pages from

325

Pages to

328

Pages count

4

BibTex

@inproceedings{BUT13049,
  author="Petr {Wandrol}",
  title="Úhlové rozložení zpětně odražených elektronů v ESEM.",
  booktitle="Elektrotechnika a informatika 2002",
  year="2002",
  number="1",
  pages="4",
  publisher="Západočeská univerzita v Plzni",
  address="Plzeň",
  isbn="80-7082-904-4"
}