Detail publikace

Úhlové rozložení zpětně odražených elektronů v ESEM.

WANDROL, P.

Originální název

Úhlové rozložení zpětně odražených elektronů v ESEM.

Anglický název

Angular distribution of backscattered electrons signal in Environmental Scanning Electron Microscopy

Typ

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

Jazyk

čeština

Originální abstrakt

Cílem práce bylo ověřit vliv prostorového úhlu sběru zpětně odražených elektronů na velikost detekovaného signálu v ESEM.

Anglický abstrakt

The aim of this work was to verify an influence of the collection solid angle on a magnitude of detected signal. The presented results of measurement was gained by an observation of the specimen of carbon covered with a thin layer of gold. The primary beam accelerating voltage was 20 kV. The collection solid angle was changed by application of aluminium masks with aperture diameters 2, 3, 4, 8, 16 mm mounted on scintillator. As a working environment in the specimen chamber were used air and saturated water vapour.

Klíčová slova

prostorový úhel. zpětně odražené elektrony, ESEM

Klíčová slova v angličtině

solid angle, backscattered electrons, ESEM

Autoři

WANDROL, P.

Rok RIV

2004

Vydáno

23. 10. 2002

Nakladatel

Západočeská univerzita v Plzni

Místo

Plzeň

ISBN

80-7082-904-4

Kniha

Elektrotechnika a informatika 2002

Číslo edice

1

Strany od

325

Strany do

328

Strany počet

4

BibTex

@inproceedings{BUT13049,
  author="Petr {Wandrol}",
  title="Úhlové rozložení zpětně odražených elektronů v ESEM.",
  booktitle="Elektrotechnika a informatika 2002",
  year="2002",
  number="1",
  pages="4",
  publisher="Západočeská univerzita v Plzni",
  address="Plzeň",
  isbn="80-7082-904-4"
}