Detekce zpětně odražených elektronů v nízkonapěťové rastrovací elektronové mikroskopii

Detection of Backscattered Electrons in Low Voltage Scanning Electron Microscopy

conference paper

Czech

Tato práce se zabývá řešením problému detekce zpětně odražených elektronů při urychlovacím napětí nižším než 3 kV scintilačním detektorem. Při takto nízkém urychlovacím napětí, a tudíž malé energii zpětně odražených elektronů, produkují scintilační monokrystaly velmi nízký počet fotonů a obraz získaný scintilačním detektorem zpětně odražených elektronů je nekvalitní. Proto je nutné, pokud chceme získat obraz materiálového kontrastu, dodat zpětně odraženým elektronům energii potřebnou pro vytvoření dostatečného množství fotonů a zároveň elektromagnetickým polem odklonit sekundární elektrony, které přinášejí do obrazu nepříznivý vliv topografického kontrastu.

This paper deals with the problems of backscattered electrons (BSE) detection in low voltage scanning electron microscopy (LV SEM). The BSE energy is 3 keV and less in LV SEM. This low BSE energy causes problems with the acquisition of sufficient signal for the image. It is necessary to accelerate BSE and separate SE to obtain applicable specimen image.

detekce, zpětně odražené elektrony, níkonapěťová SEM

detection, backscattered electrons, low voltage SEM

Petr Wandrol

2005

1. 1. 2005

Ústav přístrojové techniky AV ČR

Brno

80-239-4561-0

PDS 2004 - Sborník prací doktorandů prezentovaných na Semináři oddělení Elektronové optiky

1

61

64

4