Detail publikace

Detekce zpětně odražených elektronů v nízkonapěťové rastrovací elektronové mikroskopii

Petr Wandrol

Originální název

Detekce zpětně odražených elektronů v nízkonapěťové rastrovací elektronové mikroskopii

Anglický název

Detection of Backscattered Electrons in Low Voltage Scanning Electron Microscopy

Typ

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

Jazyk

čeština

Originální abstrakt

Tato práce se zabývá řešením problému detekce zpětně odražených elektronů při urychlovacím napětí nižším než 3 kV scintilačním detektorem. Při takto nízkém urychlovacím napětí, a tudíž malé energii zpětně odražených elektronů, produkují scintilační monokrystaly velmi nízký počet fotonů a obraz získaný scintilačním detektorem zpětně odražených elektronů je nekvalitní. Proto je nutné, pokud chceme získat obraz materiálového kontrastu, dodat zpětně odraženým elektronům energii potřebnou pro vytvoření dostatečného množství fotonů a zároveň elektromagnetickým polem odklonit sekundární elektrony, které přinášejí do obrazu nepříznivý vliv topografického kontrastu.

Anglický abstrakt

This paper deals with the problems of backscattered electrons (BSE) detection in low voltage scanning electron microscopy (LV SEM). The BSE energy is 3 keV and less in LV SEM. This low BSE energy causes problems with the acquisition of sufficient signal for the image. It is necessary to accelerate BSE and separate SE to obtain applicable specimen image.

Klíčová slova

detekce, zpětně odražené elektrony, níkonapěťová SEM

Klíčová slova v angličtině

detection, backscattered electrons, low voltage SEM

Autoři

Petr Wandrol

Rok RIV

2005

Vydáno

1. 1. 2005

Nakladatel

Ústav přístrojové techniky AV ČR

Místo

Brno

ISBN

80-239-4561-0

Kniha

PDS 2004 - Sborník prací doktorandů prezentovaných na Semináři oddělení Elektronové optiky

Číslo edice

1

Strany od

61

Strany do

64

Strany počet

4

BibTex

@inproceedings{BUT16673,
  author="Petr {Wandrol}",
  title="Detekce zpětně odražených elektronů v nízkonapěťové rastrovací elektronové mikroskopii",
  booktitle="PDS 2004 - Sborník prací doktorandů prezentovaných na Semináři oddělení Elektronové optiky",
  year="2005",
  number="1",
  pages="4",
  publisher="Ústav přístrojové techniky AV ČR",
  address="Brno",
  isbn="80-239-4561-0"
}