Product detail

Analýzy povrchů polovodičových materiálů s velkou šířkou zakázaného pásu a kvantitativní analýza dopantů

KOLÍBAL, M. BÁBOR, P. LIGMAJER, F. KOVAŘÍK, M. POTOČEK, M.

Product type

ostatní

Abstract

Tato technická zpráva shrnuje metodologii, resp. specifické přístupy k charakterizaci polovodičů s širokým zakázaným pásem, zejména SiC, které byly vyvinuty při řešení projektu TH03020005. U každé uvedené techniky je detailně popsáno použité experimentální vybavení a následně specifika pro měření SiC vzorků a jejich relevantních charakteristik, včetně typizovaného výledku.

Keywords

XPS; SIMS; AFM; spektroskopická elipsometrie

Create date

7. 1. 2021

Location

Purkyňova 123, Brno 61200, budova C, laboratore cistych prostor

Possibilities of use

Výsledek je využíván vlastníkem

Licence fee

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

www

http://nano.ceitec.cz/