Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
Detail produktu
KOLÍBAL, M. BÁBOR, P. LIGMAJER, F. KOVAŘÍK, M. POTOČEK, M.
Typ produktu
ostatní
Abstrakt
Tato technická zpráva shrnuje metodologii, resp. specifické přístupy k charakterizaci polovodičů s širokým zakázaným pásem, zejména SiC, které byly vyvinuty při řešení projektu TH03020005. U každé uvedené techniky je detailně popsáno použité experimentální vybavení a následně specifika pro měření SiC vzorků a jejich relevantních charakteristik, včetně typizovaného výledku.
Klíčová slova
XPS; SIMS; AFM; spektroskopická elipsometrie
Datum vzniku
7. 1. 2021
Umístění
Purkyňova 123, Brno 61200, budova C, laboratore cistych prostor
Možnosti využití
Výsledek je využíván vlastníkem
Licenční poplatek
Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
www
http://nano.ceitec.cz/