Product detail

Laserově odolný reflexní optický element pro 266 nm.

BÁBOR, P. POTOČEK, M. ŠIK, O. ŠKODA, D. PEKAŘ, V. BŘEZINA, J.

Product type

funkční vzorek

Abstract

Laserově odolná vysokoreflexní vrstva na svědečném skle Corning HPFS 7980 0F kombinující systém Al 2 O 3 /SiO 2 technologií napařování pomocí elektronového svazku. Hranice laserové odolnosti LIDT byla stanovena na hodnotu 1 500 W/cm2 pro pulsní laser λ = 266 nm, šířka pulsu 4 ns a opakovací frekvence 100 Hz, certifikováno ISO 21254-2.

Keywords

optické vrstvy, DUV, LIDT

Create date

31. 12. 2022

Location

Meopta Přerov

Possibilities of use

Výsledek je využíván vlastníkem

Licence fee

Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek