Detail produktu

Laserově odolný reflexní optický element pro 266 nm.

BÁBOR, P. POTOČEK, M. ŠIK, O. ŠKODA, D. PEKAŘ, V. BŘEZINA, J.

Typ produktu

funkční vzorek

Abstrakt

Laserově odolná vysokoreflexní vrstva na svědečném skle Corning HPFS 7980 0F kombinující systém Al 2 O 3 /SiO 2 technologií napařování pomocí elektronového svazku. Hranice laserové odolnosti LIDT byla stanovena na hodnotu 1 500 W/cm2 pro pulsní laser λ = 266 nm, šířka pulsu 4 ns a opakovací frekvence 100 Hz, certifikováno ISO 21254-2.

Klíčová slova

optické vrstvy, DUV, LIDT

Datum vzniku

31. 12. 2022

Umístění

Meopta Přerov

Možnosti využití

Výsledek je využíván vlastníkem

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek