Product detail
Ověřená technologie přípravy antireflexní vrstvy pro vlnovou délku 266 nm
KOLÍBAL, M. MIRDAMADI, H. ŠKODA, D. BŘEZINA, J.
Product type
ověřená technologie
Abstract
Ověřená technologie přípravy antireflexní vrstvy pro vlnovou délku 266 nm pomocí depozice dielektrických vrstev technologií depozice z pevné fáze (PVD) a depozicí atomárních vrstev (ALD). U metody PVD jde technologii napařování pomocí elektronového děla s podporou plasmového děla (Advanced Plasma Source).
Keywords
antireflexní vrstvy; depozice atomárních vrstev
Create date
31. 12. 2024
Location
Laboratoře CEITEC Nano, Purkyňova 123, Brno 61200 a Meopta a.s., Přerov
Possibilities of use
Výsledek je využíván vlastníkem
Licence fee
Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
www