Detail produktu
Ověřená technologie přípravy antireflexní vrstvy pro vlnovou délku 266 nm
KOLÍBAL, M. MIRDAMADI, H. ŠKODA, D. BŘEZINA, J.
Typ produktu
ověřená technologie
Abstrakt
Ověřená technologie přípravy antireflexní vrstvy pro vlnovou délku 266 nm pomocí depozice dielektrických vrstev technologií depozice z pevné fáze (PVD) a depozicí atomárních vrstev (ALD). U metody PVD jde technologii napařování pomocí elektronového děla s podporou plasmového děla (Advanced Plasma Source).
Klíčová slova
antireflexní vrstvy; depozice atomárních vrstev
Datum vzniku
31. 12. 2024
Umístění
Laboratoře CEITEC Nano, Purkyňova 123, Brno 61200 a Meopta a.s., Přerov
Možnosti využití
Výsledek je využíván vlastníkem
Licenční poplatek
Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
www