Publication detail

In situ plošné monitorování optických parametrů tenkých vrstev

URBÁNEK, M., SPOUSTA, J., ŠIKOLA, T., ZLÁMAL, J., CHMELÍK, R., HARNA, Z., JIRUŠE, J., JÁKL, M.

Original Title

In situ plošné monitorování optických parametrů tenkých vrstev

English Title

In situ Monitoring of Thin Film Optical Parameters

Type

journal article - other

Language

Czech

Original Abstract

V článku je popsáno využití zařízení pro in situ monitorování homogenity optických parametrů pomocí spektroskopické interferometrie. K detekci odraženého světla je použita kombinace CCD kamery a vláknového spektrometru. Provedená ex situ měření ukázala použitelnost této metody ke sledování růstu tenkých slabě absorbujících vrstev přímo v průběhu jejich depozice.

English abstract

In the paper the basic principles of an instrument for the monitoring of areal homogenity of thickness and optical properties of thin films developed in the Institute of Physical Engineering at Brno University of Technology are reported. A special attention is paid ti applications of the instrument for in situ experiments carried out in a high-vacuum etching and deposition apparaturus IBAD

Key words in English

IBAD, homogenity, thin films

Authors

URBÁNEK, M., SPOUSTA, J., ŠIKOLA, T., ZLÁMAL, J., CHMELÍK, R., HARNA, Z., JIRUŠE, J., JÁKL, M.

RIV year

2001

Released

1. 4. 2001

ISBN

0447-6441

Periodical

Jemná mechanika a optika

Year of study

46

Number

4

State

Czech Republic

Pages from

143

Pages to

145

Pages count

3

BibTex

@article{BUT40057,
  author="Stanislav {Voborný} and Michal {Urbánek} and Tomáš {Šikola} and Jakub {Zlámal} and Radim {Chmelík} and Zdeněk {Harna} and Jaroslav {Jiruše} and Miloš {Jákl}",
  title="In situ plošné monitorování optických parametrů tenkých vrstev",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  year="2001",
  volume="46",
  number="4",
  pages="3",
  issn="0447-6441"
}