Detail publikace

In situ plošné monitorování optických parametrů tenkých vrstev

URBÁNEK, M., SPOUSTA, J., ŠIKOLA, T., ZLÁMAL, J., CHMELÍK, R., HARNA, Z., JIRUŠE, J., JÁKL, M.

Originální název

In situ plošné monitorování optických parametrů tenkých vrstev

Anglický název

In situ Monitoring of Thin Film Optical Parameters

Typ

článek v časopise - ostatní, Jost

Jazyk

čeština

Originální abstrakt

V článku je popsáno využití zařízení pro in situ monitorování homogenity optických parametrů pomocí spektroskopické interferometrie. K detekci odraženého světla je použita kombinace CCD kamery a vláknového spektrometru. Provedená ex situ měření ukázala použitelnost této metody ke sledování růstu tenkých slabě absorbujících vrstev přímo v průběhu jejich depozice.

Anglický abstrakt

In the paper the basic principles of an instrument for the monitoring of areal homogenity of thickness and optical properties of thin films developed in the Institute of Physical Engineering at Brno University of Technology are reported. A special attention is paid ti applications of the instrument for in situ experiments carried out in a high-vacuum etching and deposition apparaturus IBAD

Klíčová slova v angličtině

IBAD, homogenity, thin films

Autoři

URBÁNEK, M., SPOUSTA, J., ŠIKOLA, T., ZLÁMAL, J., CHMELÍK, R., HARNA, Z., JIRUŠE, J., JÁKL, M.

Rok RIV

2001

Vydáno

1. 4. 2001

ISSN

0447-6441

Periodikum

Jemná mechanika a optika

Ročník

46

Číslo

4

Stát

Česká republika

Strany od

143

Strany do

145

Strany počet

3

BibTex

@article{BUT40057,
  author="Stanislav {Voborný} and Michal {Urbánek} and Tomáš {Šikola} and Jakub {Zlámal} and Radim {Chmelík} and Zdeněk {Harna} and Jaroslav {Jiruše} and Miloš {Jákl}",
  title="In situ plošné monitorování optických parametrů tenkých vrstev",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  year="2001",
  volume="46",
  number="4",
  pages="3",
  issn="0447-6441"
}