Přístupnostní navigace
E-application
Search Search Close
Publication detail
URBÁNEK, M.
Original Title
Zařízení pro in-situ plošné monitorování homogenity tenkých vrstev
English Title
A device for on-situ monitoring of thin films homogenity
Type
conference paper
Language
Czech
Original Abstract
English abstract
Key words in English
Interferometry
Authors
RIV year
2001
Released
5. 12. 2000
Publisher
Vutium
Location
Brno
Pages from
333
Pages to
336
Pages count
4
BibTex
@inproceedings{BUT4507, author="Michal {Urbánek}", title="Zařízení pro in-situ plošné monitorování homogenity tenkých vrstev", booktitle="II. sborník příspěvků doktorandů, konference u příležitosti 100. výročí založení FSI", year="2000", pages="4", publisher="Vutium", address="Brno" }