Publication detail

Zařízení pro in-situ plošné monitorování homogenity tenkých vrstev

URBÁNEK, M.

Original Title

Zařízení pro in-situ plošné monitorování homogenity tenkých vrstev

English Title

A device for on-situ monitoring of thin films homogenity

Type

conference paper

Language

Czech

Original Abstract

Zařízení pro in-situ plošné monitorování homogenity tenkých vrstev

English abstract

A device for on-situ monitoring of thin films homogenity

Key words in English

Interferometry

Authors

URBÁNEK, M.

RIV year

2001

Released

5. 12. 2000

Publisher

Vutium

Location

Brno

Pages from

333

Pages to

336

Pages count

4

BibTex

@inproceedings{BUT4507,
  author="Michal {Urbánek}",
  title="Zařízení pro in-situ plošné monitorování homogenity tenkých vrstev",
  booktitle="II. sborník příspěvků doktorandů, konference u příležitosti 100. výročí založení FSI",
  year="2000",
  pages="4",
  publisher="Vutium",
  address="Brno"
}