Detail publikace

Zařízení pro in-situ plošné monitorování homogenity tenkých vrstev

URBÁNEK, M.

Originální název

Zařízení pro in-situ plošné monitorování homogenity tenkých vrstev

Anglický název

A device for on-situ monitoring of thin films homogenity

Typ

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

Jazyk

čeština

Originální abstrakt

Zařízení pro in-situ plošné monitorování homogenity tenkých vrstev

Anglický abstrakt

A device for on-situ monitoring of thin films homogenity

Klíčová slova v angličtině

Interferometry

Autoři

URBÁNEK, M.

Rok RIV

2001

Vydáno

5. 12. 2000

Nakladatel

Vutium

Místo

Brno

Strany od

333

Strany do

336

Strany počet

4

BibTex

@inproceedings{BUT4507,
  author="Michal {Urbánek}",
  title="Zařízení pro in-situ plošné monitorování homogenity tenkých vrstev",
  booktitle="II. sborník příspěvků doktorandů, konference u příležitosti 100. výročí založení FSI",
  year="2000",
  pages="4",
  publisher="Vutium",
  address="Brno"
}